|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МОДУЛЬ И СИСТЕМА ГЕТТЕРОНАСОСА |  |
Номер публикации патента: 2138686 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | F04B037/02 H01J009/38 | | Аналоги изобретения: | Бризашер, Non-Evaporable Getter Pupms for Semiconductor Processing Eguipment, Сверхчистые технологии, 1(1) : 49 - 57, 1990. SU 705561 A, 1979. SU 918510 A, 1982. US 3542488 A, 1970. US 4515528 A, 1985. DE 3332660 A1, 1985. |
| Имя заявителя: | Сэйз Пьюэ Гэз, Инк. (US) | | Изобретатели: | Крюгер Гордон П. (US)
Лоример Дарси Х. (US)
Карелла Серджио (IT)
Конте Андреа (IT) | | Патентообладатели: | Сэйз Пьюэ Гэз, Инк. (US) | | Номер конвенционной заявки: | 08/348798 | | Страна приоритета: | US |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано в системах сверхвысокого вакуума для производства полупроводников. Модуль геттеронасоса выполняют из геттерных дисков с осевыми отверстиями и устройства для нагрева, пропущенного через упомянутые отверстия, который служит опорой геттерным дискам. Устройства предназначены для нагрева дисков. Геттерные диски преимущественно представляют собой сплошные пористые спеченные диски, которые выполняются из геттерного материала. Титановые втулки входят в соприкосновение с устройством для нагрева. Для защиты упомянутых геттерных дисков от источника тепловой энергии, обеспечения теплоотвода внутри камеры и быстрой регенерации геттерных дисков предусматривается теплозащитный экран. В некоторых вариантах осуществления настоящего изобретения теплозащитные экраны выполняются неподвижными. В других вариантах могут быть предусмотрены подвижные теплозащитные экраны. В одном из вариантов осуществления настоящего изобретения предусматривается фокусирующий экран для отражения тепловой энергии от внешнего нагревательного элемента на упомянутый геттерный материал с целью обеспечения высоких скоростей. Кроме того, в качестве одного из вариантов осуществления настоящего изобретения может предусматриваться вращающийся геттерный элемент для повышения коэффициента использования геттерного материала. Такое выполнение позволяет адаптировать геттеронасос к процессу откачки давления из рабочих камер "по месту" согласно терминологии производства полупроводников. 10 с. и 56 з.п. ф-лы, 17 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента