RU 87258 U1, 27.09.2009. RU 2118231 C1, 27.08.1999. RU 2174268 С2, 27.09.2001. JP 2001-349870 A, 21.12.2001. JP 02-051053 A, 21.02.1990. EP 19609 B1, 09.02.2000.
Имя заявителя:
Государственное учреждение "Научно-исследовательский институт микроэлектроники и информационно-измерительной техники Московского государственного института электроники и математики (технического университета)" (RU)
Изобретатели:
Котенева Вера Яковлевна (RU) Петров Владимир Семенович (RU) Полунина Алиса Александровна (RU)
Патентообладатели:
Государственное учреждение "Научно-исследовательский институт микроэлектроники и информационно-измерительной техники Московского государственного института электроники и математики (технического университета)" (RU)
Реферат
Изобретение относится к способам определения рабочих параметров газопоглотителей, а именно к способам определения параметров химического активирования нераспыляемых пористых геттеров, которые могут быть использованы в производстве вакуумных СВЧ-приборов, кольцевых газоразрядных лазерных гироскопов с гелий-неоновой смесью в качестве активной среды и т.д. Способ определения параметров химического активирования нераспыляемых пористых геттеров заключается в том, что проводят нагревание исследуемого геттера в вакууме или в атмосфере инертного газа до температуры химического активирования поверхности геттера. После активирования производят охлаждение до комнатной температуры. При этом непрерывно измеряют давление атмосферы, массу и температуру геттера. Температуру активирования, время достижения температуры активирования и давление контролируемой атмосферы при этой температуре определяют путем проектирования на соответствующие временные зависимости точки минимума на зависимости массы геттера от времени. Технический результат - повышение точности и ускорение процесса проведения измерений. 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента