|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК С ПОЛЫМ КАТОДОМ |  |
Номер публикации патента: 2211502 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J027/02 | | Аналоги изобретения: | RU 2174676 C1, 10.10.2001. RU 2147387 C1, 10.04.2000. RU 2083020 C1, 27.06.1992. RU 2045102 C1, 27.09.1995. WO 01/93293 A, 06.12.2001. DE 3843023 A1, 28.06.1990. |
| Имя заявителя: | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН | | Изобретатели: | Сихарулидзе Г.Г. | | Патентообладатели: | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН |
Реферат | |
Использование: в микроэлектронике при катодном распылении веществ, а также в масс-спектрометрии при элементном анализе твердых тел с высокой чувствительностью методом тлеющего разряда. Сущность изобретения: плазменный источник с полым катодом включает разрядную камеру, которая одновременно является анодом, полый катод с образцом, на вершине полого катода выполнено отверстие, напротив которого по центральной оси полого катода в разрядной камере выполнено выходное отверстие для вытягивания ионов.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента