|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК ИОНОВ С ЛЕНТОЧНЫМ ПУЧКОМ (ВАРИАНТЫ) |  |
Номер публикации патента: 2151438 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J027/16 | | Аналоги изобретения: | US 4859908 A, 22.08.1989. US 4316090 A, 16.02.1982. US 5089747 A, 18.02.1992. RU 2119208 C1, 20.09.1998. RU 2082255 C1, 20.06.1997. RU 2121729 C1, 10.11.1998. RU 2095877 C1, 10.11.1997. |
| Имя заявителя: | Бугров Глеб Эльмирович | | Изобретатели: | Бугров Г.Э.
Кондранин С.Г.
Кралькина Е.А.
Павлов В.Б. | | Патентообладатели: | Бугров Глеб Эльмирович
Кондранин Сергей Геннадьевич
Кралькина Елена Александровна
Павлов Владимир Борисович |
Реферат | |
Использование: плазменная техника для генерации ионных ленточных пучков, которые могут использоваться в различных технологических процессах, в том числе для нанесения покрытий и ионной имплантации. Сущность изобретения: плазменный источник ионов с ленточным пучком содержит ионизационную камеру с эмиссионным отверстием прямоугольной формы, узел подачи в камеру рабочего вещества, узел ввода в полость камеры высокочастотной энергии и электростатическую систему извлечения ионов. Магнитная система источника ионов обеспечивает создание внутри ионизационной камеры магнитного поля, величина индукции которого спадает от стенок камеры к ее продольной оси симметрии и в направлении к эмиссионному отверстию. В первом варианте выполнения источника ионов узел ввода высокочастотной энергии выполняется в виде двух секций, размещенных на противоположных стенках ионизационной камеры. Каждая секция образована протяженными проводниками тока, параллельно расположенными на боковых диэлектрических стенках камеры вдоль эмиссионного отверстия. Во втором варианте узел ввода высокочастотной энергии выполняется по меньшей мере из двух секций. Каждая из таких секций образована проводниками тока, параллельно расположенными на боковых стенках камеры поперек продольной оси симметрии эмиссионного отверстия. Концы проводников в каждой секции последовательно соединены замыкающими проводящими элементами с образованием последовательной электрической цепи. Техническим результатом является создание плазменного источника ионов с ленточным пучком, обладающего достаточной надежностью, высоким ресурсом, энергетической эффективностью и газовой экономичностью, и кроме того, позволяющего получить протяженный ленточный пучок ионов инертных и химически активных веществ с высокой степенью однородности плотности тока по сечению пучка. 2 с. и 12 з.п. ф-лы. 5 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента