На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ИСТОЧНИК ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ | |
Номер публикации патента: 1734510 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01J027/00 | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1568793, кл. H 01J 27/00, 1988. |
Имя заявителя: | Рубежанский филиал Днепропетровского химико-технологического института им.Ф.Э.Дзержинского | Изобретатели: | Никитинский В.А. | Патентообладатели: | Никитинский Валерий Афанасьевич |
Реферат | |
Использование: газоразрядные технологические устройства для обработки материалов в вакууме. Сущность изобретения: полый катод источника заряженных частиц установлен по вспомогательной камере. Со стороны торцевой поверхности катода, обращенной к аноду, установлен диск, образующий с катодом кольцевую щель. Площадь щели на два порядка меньше площади внутренней поверхности вспомогательной камеры. В полости камеры установлены дополнительные диски, образующие с держателем катода кольцевые щели. Площадь каждой щели больше, чем 1% от площади части внутренней поверхности камеры, заключенной между соседними дополнительными дисками. Такое выполнение позволяет разогреть активное вещество в полом катоде до температуры, необходимой для возбуждения дугового разряда. Вспомогательная камера может быть выполнена с цилиндрическим выступом в сторону анода. При этом между анодом и катодом установлен промежуточный электрод с контрагирующим отверстием, соединенный с анодом через ограничительное сопротивление. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
|