RU 2350995 С2, 27.03.2009. RU 2350996 C1, 27.03.2009. US 7608367 B1, 27.10.2009. US 6482553 B1, 19.11.2002.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) (RU)
Изобретатели:
Генцелев Александр Николаевич (RU) Зелинский Александр Георгиевич (RU) Кондратьев Владимир Иванович (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) (RU)
Реферат
Изобретение относится к LIGA-технологии, а точнее к способу изготовления LIGA-шаблона (ЛИГА-шаблона), используемого для проведения первой стадии LIGA-технологии - глубокой рентгеновской литографии. Технический результат - увеличение контрастности и рентгенопрозрачности LIGA-шаблона. Способ изготовления LIGA-шаблона, характеризующийся тем, что исходная подложка представляет собой формуемый из композитного рентгенопрозрачного материала диск, центральная часть которого содержит металлическую шайбу, которая либо выполнена из материала более рентгенопрозрачного чем композитный (например, из бериллия), либо полностью удаляется химическими методами на последней стадии изготовления LIGA-шаблона. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента