Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ LIGA - ШАБЛОНА

Номер публикации патента: 2431881

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2010116507/28 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: G03G015/00    
Аналоги изобретения: RU 2350995 С2, 27.03.2009. RU 2350996 C1, 27.03.2009. US 7608367 B1, 27.10.2009. US 6482553 B1, 19.11.2002. 

Имя заявителя: Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) (RU) 
Изобретатели: Генцелев Александр Николаевич (RU)
Зелинский Александр Георгиевич (RU)
Кондратьев Владимир Иванович (RU) 
Патентообладатели: Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) (RU) 

Реферат


Изобретение относится к LIGA-технологии, а точнее к способу изготовления LIGA-шаблона (ЛИГА-шаблона), используемого для проведения первой стадии LIGA-технологии - глубокой рентгеновской литографии. Технический результат - увеличение контрастности и рентгенопрозрачности LIGA-шаблона. Способ изготовления LIGA-шаблона, характеризующийся тем, что исходная подложка представляет собой формуемый из композитного рентгенопрозрачного материала диск, центральная часть которого содержит металлическую шайбу, которая либо выполнена из материала более рентгенопрозрачного чем композитный (например, из бериллия), либо полностью удаляется химическими методами на последней стадии изготовления LIGA-шаблона. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"