Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


РЕНТГЕНОЛУЧЕВОЙ ГЕНЕРАТОР ИЗОБРАЖЕНИЯ

Номер публикации патента: 2415521

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2009145542/07 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H05G001/00   G03F007/00    
Аналоги изобретения: ГОЛЬДБЕРГ Б.Г. и др. Изготовление LIGA-шаблонов для создания микрофлюидных аналитических систем. В.: "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования", 2008, 8, с.1-4. RU 2350994 С1, 27.03.2009. RU 234454 С1, 20.01.2009. RU 28285 U1, 10.03.2003. US 2009214689 А1, 27.08.2009. WO 02067055 А2, 29.08.2008. ЕР 0020133 A1, 10.12.1980. 

Имя заявителя: Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) (RU) 
Изобретатели: Гольденберг Борис Григорьевич (RU) 
Патентообладатели: Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) (RU) 

Реферат


Изобретение относится к рентгенолитографии, а именно к устройству «рисования» топологических рисунков, пространственно сформированным пучком экспонирующего рентгеновского излучения. С целью повышения точности формирования топологии резистивной маски при помощи рентгенолучевого генератора изображения содержащего, в общем случае, источник экспонирующего рентгеновского излучения; оперативную рентгенонепрозрачную заслонку-прерыватель для управления пучком экспонирующего рентгеновского излучения; координатный стол, на котором располагается обрабатываемая подложка, и блок диафрагм, задающий размеры «светового пятна», предлагается блок диафрагм, изготовленный в виде двух рентгеновских шаблонов с ренгенопрозрачными отверстиями круглой или щелевой формы, размеры которых выполнены с определенным заданным шагом. Такой подход позволяет оперативно сформировать топологию резистивной маски в толстом слое рентгенорезиста с субмикронной точностью, что является техническим результатом изобретения. 1 ил.

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"