Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛИТОГРАФИИ С ПОМОЩЬЮ ИЗЛУЧЕНИЯ В ДАЛЕКОЙ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЙ ОБЛАСТИ СПЕКТРА

Номер публикации патента: 2359303

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2006110946/28 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: G03F007/20    
Аналоги изобретения: ЕР 1320913 В1, 25.06.2003. US 6307913 А, 23.10.2001. JP 08213192 А, 20.08.1996. WO 0137618 А, 25.05.2001. RU 2071142 А, 27.12.1996. 

Имя заявителя: КОММИССАРИАТ А Л' ЭНЕРЖИ АТОМИК (FR) 
Изобретатели: КОРМОН Филипп (FR)
ТРО Пьер-Ив (FR)
ВАШЕ Шарли (FR) 
Патентообладатели: КОММИССАРИАТ А Л' ЭНЕРЖИ АТОМИК (FR) 

Реферат


Способ фотолитографии при помощи излучения в далекой ультрафиолетовой области спектра предназначен для нанесения рисунка на объект (OBJ) и содержит плоскую поверхность, расположенную перпендикулярно излучению и содержащую светочувствительную зону (PR). Объект может перемещаться поперечно относительно этого излучения.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"