Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛИТОГРАФИЧЕСКОЙ МАСКИ ДЛЯ LIGA - ТЕХНОЛОГИИ

Номер публикации патента: 2350996

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2007124033/28 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: G03F007/00    
Аналоги изобретения: E.W.BECKER, W.EHRFELD, P.HAGMAN, A.MANER, D.MUNCHMEYER, FABRICATION OF MICROSTRUCTURES WITH HIGH ASPECT RATIOS AND GREAT STRUCTURAL HEIGHTS BY SYNCHROTRON RADIATION LITHOGRAPHY GALVANOFORMING AND PLASTIC MOULDING (LIGA-PROCESS), MICROELECTRONIC ENGINEERING, 4, 1, 1986, 35-56. JP 7135156 A, 23.05.1995. JP 2005175406 A, 30.06.2005. JP 11297593 A, 

Имя заявителя: Институт ядерной физики СО РАН (RU) 
Изобретатели: Генцелев Александр Николаевич (RU)
Гольденберг Борис Григорьевич (RU)
Кондратьев Владимир Иванович (RU)
Петрова Екатерина Владимировна (RU) 
Патентообладатели: Институт ядерной физики СО РАН (RU) 

Реферат


Использование: для изготовления литографической маски. Сущность заключается в том, что осуществляют формирование посредством рентгеновской литографии резистивной маски на рабочей поверхности несущей мембраны или обрабатываемой подложки, являющихся заготовками литографической маски и выполненных из материалов с низким атомным весом, и процессы электроосаждения через сформированную резистивную маску металлов с большим атомным весом, при этом на рабочую поверхность несущей мембраны или обрабатываемо


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"