Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ТРАФАРЕТНОЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ ЛИТОГРАФИИ

Номер публикации патента: 2344453

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2007122066/28 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: G03F007/00    
Аналоги изобретения: ПЕТРОВ Е.В., ГОЛЬДЕНБЕРГ Б.Г., КОНДРАТЬЕВ В.И., МЕЗЕНЦЕВА Л.А., ПИНДЮРИН В.Ф., ГЕНЦЕЛЕВ А.Н., ЕЛИСЕЕВ В.С., ЛЯХ В.В., СОЗДАНИЕ РЕНТГЕНОШАБЛОНА НА ТОЛСТОЙ ПОДЛОЖКЕ ДЛЯ ГЛУБОКОЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ ЛИТОГРАФИИ, ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ, 2007, №6, с.1-6. JP 7135156 A, 23.05.1995. JP 2005175406 A, 30.06.2005. JP 

Имя заявителя: Институт ядерной физики СО РАН (RU) 
Изобретатели: Генцелев Александр Николаевич (RU)
Гольденберг Борис Григорьевич (RU)
Елисеев Владимир Сергеевич (RU)
Кондратьев Владимир Иванович (RU)
Петрова Екатерина Владимировна (RU)
Пиндюрин Валерий Федорович (RU) 
Патентообладатели: Институт ядерной физики СО РАН (RU) 

Реферат


Использование: для проведения трафаретной рентгеновской литографии. Сущность: заключается в том, что зафиксированный на шаблонодержателе рентгеношаблон, содержащий сформированный на его рабочей поверхности топологический рисунок и зафиксированную на подложкодержателе обрабатываемую подложку с нанесенным на ее рабочую поверхность слоем рентгенорезиста, размещают на пути следования экспонирующего излучения, причем ближе к источнику излучения располагают рентгеношаблон, при этом все процессы по изго


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"