|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ТРАФАРЕТНОЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ ЛИТОГРАФИИ |  |
Номер публикации патента: 2344453 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G03F007/00 | | Аналоги изобретения: | ПЕТРОВ Е.В., ГОЛЬДЕНБЕРГ Б.Г., КОНДРАТЬЕВ В.И., МЕЗЕНЦЕВА Л.А., ПИНДЮРИН В.Ф., ГЕНЦЕЛЕВ А.Н., ЕЛИСЕЕВ В.С., ЛЯХ В.В., СОЗДАНИЕ РЕНТГЕНОШАБЛОНА НА ТОЛСТОЙ ПОДЛОЖКЕ ДЛЯ ГЛУБОКОЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ ЛИТОГРАФИИ, ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ, 2007, №6, с.1-6. JP 7135156 A, 23.05.1995. JP 2005175406 A, 30.06.2005. JP |
| Имя заявителя: | Институт ядерной физики СО РАН (RU) | | Изобретатели: | Генцелев Александр Николаевич (RU)
Гольденберг Борис Григорьевич (RU)
Елисеев Владимир Сергеевич (RU)
Кондратьев Владимир Иванович (RU)
Петрова Екатерина Владимировна (RU)
Пиндюрин Валерий Федорович (RU) | | Патентообладатели: | Институт ядерной физики СО РАН (RU) |
Реферат | |
Использование: для проведения трафаретной рентгеновской литографии. Сущность: заключается в том, что зафиксированный на шаблонодержателе рентгеношаблон, содержащий сформированный на его рабочей поверхности топологический рисунок и зафиксированную на подложкодержателе обрабатываемую подложку с нанесенным на ее рабочую поверхность слоем рентгенорезиста, размещают на пути следования экспонирующего излучения, причем ближе к источнику излучения располагают рентгеношаблон, при этом все процессы по изго
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента