На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ТЕНЕВОЙ ТРАФАРЕТНОЙ РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИИ | |
Номер публикации патента: 2350994 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G03B042/02 | Аналоги изобретения: | SU 1611155 A1, 27.01.1989. SU 1196796 А, 22.06.1984. US 4329410 А, 11.05.1982. Артамонова Л.Д., Глускин Е.С., Красноперова А.А., Кулипанов Г.Н, Назьмов В.П., Пиндюрин В.Ф., Скринский А.Н., Черков Г.А., Чесноков В.В., Шелюхин Ю.Г. Эксперименты по рентгеновской литографии с использованием синхротронного излучения накопителя ВЭПП-2М. - В сб. докладов: |
Имя заявителя: | Институт ядерной физики СО РАН (RU) | Изобретатели: | Генцелев Александр Николаевич (RU) Гольденберг Борис Григорьевич (RU) Елисеев Владимир Сергеевич (RU) Кондратьев Владимир Иванович (RU) Петрова Екатерина Владимировна (RU) Пиндюрин Валерий Федорович (RU) | Патентообладатели: | Институт ядерной физики СО РАН (RU) |
Реферат | |
Способ проведения теневой трафаретной рентгеновской литографии, при котором рентгеношаблон, содержащий несущую мембрану со сформированным на ее рабочей поверхности металлическим рентгенопоглощающим топологическим рисунком и обрабатываемую подложку с нанесенным на ее рабочую поверхность слоем рентгенорезиста размещают на пути следования синхротронного излучения, причем ближе к источнику излучения располагают рентгеношаблон, а вышеуказанные рабочие поверхности располагают отстоящими друг от друга н
|