На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ

Номер публикации патента: 94041175

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  94041175

Реферат

Изобретение относится к области изготовления оптических покрытий осаждением на подложку путем конденсации паров, пленкообразующего материала и может быть использовано в микроэлектронике и квантовой электронике. Цель изобретения - получение покрытий с минимальным поглощением и рассеянием излучения, высокой лучевой и термомеханической прочностью за счет получения ненапряженных слоев покрытия с аморфной или монокристаллической структурой. Эта цель достигается тем, что в способе изготовления тонкопленочных покрытий, включающем нагрев подложки, осаждение на нее по меньшей мере одного слоя пленкообразующего материала путем конденсации паров и охлаждение подложки, при изготовлении каждого слоя покрытия подложку нагревают до температуры, не превышающей температуру разрушения и изменения структуры материалов подложки и предыдущих слоев покрытия, охлаждают подложку со скоростью 0,3 - 2^oС/с преимущественно до температуры 50 - 100^oC, а осаждение слоя покрытия ведут со скоростью 0,5 - 3 нм /с на охлаждаемую подложку в диапазоне температур, верхней границей которого является критическая температура конденсации осаждаемого материала, а нижней границей - температура, преимущественно 150 - 200^oС.

Вернуться к списку