US 4638669 А, 27.01.1987. RU 2289822 C1, 20.12.2006. US 7104128 B2, 12.09.2006. RU 2298191 C1, 27.04.2007. US 6683358 B1, 27.01.2004.
Имя заявителя:
Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (ЮФУ) (RU), Учреждение Российской академии наук Южный научный центр Российской академии наук (RU)
Изобретатели:
Коноплев Борис Георгиевич (RU) Приступчик Никита Константинович (RU) Рындин Евгений Адальбертович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (ЮФУ) (RU) Учреждение Российской академии наук Южный научный центр Российской академии наук (RU)
Реферат
Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин ускорения. Акселерометр содержит подложку 1, преобразователь перемещения 2, инерционную массу 3, активные области подвеса 4 и 9, пассивную область подвеса 5, неподвижный электрод 6, подвижный электрод 7, а также два дополнительных подвеса с активными областями 15, 16 и 23, 24 соответственно и с пассивными областями 17 и 25 соответственно, две дополнительные инерционные массы 13 и 21, два дополнительных неподвижных электрода 11 и 19, два дополнительных подвижных электрода 12 и 20 и два дополнительных туннельных преобразователя перемещения 34 и 35. Преобразователь перемещения 2 представляет собой туннельный контакт, образованный неподвижным электродом 6, который представляет собой цилиндрическую оболочку, жестко закрепленную относительно подложки 1. Изобретение позволяет одновременно измерить три взаимно перпендикулярные составляющие ускорения. 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента