|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВЫСОТЫ СТУПЕНЕК В ПРОИЗВОЛЬНЫХ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУРАХ |  |
Номер публикации патента: 2270437 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N021/21 | | Аналоги изобретения: | АЗЗАМ Р. и др. Эллипсометрия и поляризованный свет. - М.: Мир, 1981, с.325-330, 379-388. RU 2193158 C2, 20.11.2002. SU 1226042 А, 23.04.1986. US 5018863 А, 28.05.1991. US 4647207 А, 03.03.1987. |
| Имя заявителя: | Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и завод "МИКРОН" (ОАО "НИИМЭ и завод "МИКРОН") (RU) | | Изобретатели: | Горнев Евгений Сергеевич (RU)
Лонский Эдуард Станиславович (RU)
Потапов Евгений Владимирович (RU) | | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и завод "МИКРОН" (ОАО "НИИМЭ и завод "МИКРОН") (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к оптической контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения высоты ступенек, полученных любым способом в однородном материале или в произвольной многослойной структуре. Сущность изобретения заключается в измерении эллипсометрических параметров отдельно для пучков света, отраженных от областей по обе стороны от ступеньки (с использованием для ступенек в многослойных структурах дополнительных измерений в другой, отличной от воздуха, среде), и для сумм
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента