|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ОСТАТОЧНЫХ ПЛЕНОК В ОКНАХ МАЛЫХ РАЗМЕРОВ |  |
Номер публикации патента: 2193158 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01B015/02 G01N021/21 | | Аналоги изобретения: | RU 2133956 С1, 27.07.1999. RU 2008652 С1, 28.02.1994. RU 2149382 С1, 20.05.2000. US 5018863 А, 28.05.1991. |
| Имя заявителя: | Акционерное общество открытого типа "НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон" | | Изобретатели: | Лонский Э.С. | | Патентообладатели: | Акционерное общество открытого типа "НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон" |
Реферат | |
Изобретение относится к оптической контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины остаточных пленок в окнах малых (~1 мкм) размеров, полученных любым способом в произвольной многослойной структуре на подложке с известными оптическими характеристиками Сущность изобретения заключается в измерении стандартным методом эллипсометрии эллипсометрических параметров в нулевом порядке дифракции для по крайней мере четырех рядом расположенных участков структуры со сформиров
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента