|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| РЕНТГЕНОВСКИЙ РЕФЛЕКТОМЕТР |  |
Номер публикации патента: 2104481 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01B015/08 G01B015/00 G01N023/00 G01N023/20 | | Аналоги изобретения: | O. Renner. Density Measurements of Thin Germanium Films by Fotal Reflection of X-Rays. Crechoslovak Journal of Physics, v. B22, 1007-16, 1972. The New Siemens X-Ray Reflectonuter. A Tool with Outstanding Capalilieties. Siemens Analytical Application Note N 337, Maerz, 1, 1994. |
| Имя заявителя: | Турьянский Александр Георгиевич | | Изобретатели: | Турьянский А.Г.
Виноградов А.В.
Пиршин И.В. | | Патентообладатели: | Турьянский Александр Георгиевич |
Реферат | |
Использование: в измерительной технике, а более конкретно прибор может быть использован для контроля плотности, состава и толщины тонких пленок, а также для определения шероховатости поверхности. Сущность изобретения: рентгеновский рефлектометр содержит источник полихроматического рентгеновского излучения 1, средства коллимации рентгеновского пучка 2, держатель 3 образца 4, выполненный с возможностью вращения вокруг собственной оси, поворотный кронштейн 15, для которого предусмотрена возможность вращения вокруг оси, совпадающей с осью держателя образца, средства измерения углов поворота держателя 3 образца 4 и поворотного кронштейна 15, размещенные на поворотном кронштейне монохроматор 7 и детектор 12, причем монохроматор выполнен с возможностью поворота вокруг собственной оси, а для детектора 12 предусмотрена возможность изменения угла поворота относительно монохроматора 7. На поворотном кронштейне размещены также второй монохроматор 8, выполненный с возможностью поворота вокруг собственной оси и детектор 13, для которого предусмотрена возможность изменения угла поворота относительно второго монохроматора 8, причем второй монохроматор 8 расположен за первым 7 по ходу рентгеновского пучка, а первый монохроматор 7 является полупрозрачным по меньшей мере в одном из рабочих участков спектра. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента