На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2271523 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01L009/04 | Аналоги изобретения: | SU 1732199 А, 07.05.1992. SU 1778571 A1, 30.11.1992. RU 1478913 А2, 10.12.1995. SU 1527525 A1, 07.12.1989. SU 1647305 A1, 07.05.1991. US 4065970 А, 03.01.1978. JP 1136378 A, 29.05.1989. JP 59214267 А, 04.12.1984. |
Имя заявителя: | ФГУП "НИИ физических измерений" (RU) | Изобретатели: | Баринов Илья Николаевич (RU) Козин Сергей Алексеевич (RU) | Патентообладатели: | ФГУП "НИИ физических измерений" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к преобразователям малых давлений. Полупроводниковый преобразователь давления содержит кремниевую мембрану с утолщенным периферийным основанием, выполненную из кремния n-типа проводимости и легированную бором до концентрации не менее 5·1019 см-3.
|