На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ СБОРА И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ О ПОВЕРХНОСТИ ОБРАЗЦА

Номер публикации патента: 2145055

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  99102369		Получить полное описание патента

Реферат

Способ включает последовательное снятие в заданных точках поверхности по меньшей мере участка силовой кривой и определение по нему параметров образца с последующим построением соответствующих пространственных распределений. На силовой кривой производят выбор опорных точек и фиксируют по меньшей мере в этих точках значения силы отклонения кантилевера, и/или координаты его закрепленного конца, и/или производных от силы отклонения кантилевера по координате его закрепленного конца. По числу опорных точек и/или указанным зафиксированным значениям определяют параметры образца, характеризующие рельеф, и/или свойства поверхности образца, и/или число и свойства его поверхностных слоев. В том числе определяют координаты поверхности образца, и/или границ поверхностных слоев, или толщины поверхностных слоев, или силу адгезии поверхности образца и/или поверхностных слоев, или коэффициент упругости поверхности образца, и/или поверхностных слоев. Обеспечивается расширение функциональных возможностей, повышение точности и достоверности полученной информации, повышение производительности и информативности. 29 з.п.ф-лы, 18 ил.

Вернуться к списку