US 6701633 B2, 09.03.2004. JP 2006275826 A, 12.10.2006. US 7220962 B2, 22.05.2007. RU 2263879 C2, 10.11.2005.
Имя заявителя:
Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") (RU)
Изобретатели:
Вишняков Геннадий Николаевич (RU) Левин Геннадий Генрихович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к профилометрии, топографии. Устройство для измерения формы поверхности трехмерного объекта в координатах X, Y, Z включает матрицу зондов, в нижней части которых жестко закреплен щуп, а в верхней части - светоотражательный элемент, размещенных в обойме с множеством направляющих, расположенных в узлах двумерной сетки с известными координатами точек контакта щупов каждого зонда относительно центра обоймы, позволяющих каждому зонду свободно двигаться вдоль оси Z, причем двумерная сетка может быть произвольной геометрической формы. Также включает механизм перемещения трехмерного объекта и обоймы для вычисления формы поверхности исходного объекта на основании данных о координатах X, Y, Z, ЭВМ, плоский опорный оптический элемент, оптическое устройство в виде интерферометра для измерения расстояния в Z направлении между отражательной поверхностью зондов и плоским опорным оптическим элементом, содержащее источник когерентного света, оптическую систему, формирующую широкий параллельный пучок света, диаметр которого превышает размер области задания двумерной сетки, светоделитель, матричный фотоприемник, на котором с помощью объектива формируется изображение светоотражающих элементов из матрицы зондов. Технический результат заключается в обеспечении возможности измерения формы поверхности трехмерных объектов в динамике и в повышении точности измерений. 35 з.п. ф-лы, 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента