|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ДИСТАНЦИОННЫЙ ЧЕТЫРЕХВОЛНОВЫЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК |  |
Номер публикации патента: 2359220 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01B011/06 G01N021/17 | | Аналоги изобретения: | RU 2304759 С1, 20.08.2007. JP 2000055627 А, 25.02.2000. RU 2168151 С2, 27.05.2001. RU 2207501 С2, 27.06.2003. SU 1670385 А1, 15.08.1991. US 49099631 А, 20.03.1990. RU 2300077 С1, 27.05.2007. |
| Имя заявителя: | ООО "НИИ Радиоэлектроники и лазерной техники" (RU) | | Изобретатели: | Белов Михаил Леонидович (RU)
Городничев Виктор Александрович (RU)
Козинцев Валентин Иванович (RU)
Смирнова Ольга Алексеевна (RU)
Федотов Юрий Викторович (RU) | | Патентообладатели: | ООО "НИИ Радиоэлектроники и лазерной техники" (RU) |
Реферат | |
Дистанционный способ измерения толщины тонких пленок на поверхности материала заключается в облучении поверхности материала оптическим излучением на длинах волн зондирования 1, 2, 3, 4, регистрации отраженного от поверхности сигнала и определении толщины пленки d по результатам анализа зависимости интенсивности отраженного сигнала на длинах волн зондирования 1, 2, 3, 4, причем длины волн зондирования 1, 2, 3 выбираются так, чтобы 1=2-, 3=2+, выбирается таким образом, чтобы обеспечить выполнение
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента