|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ОПТИЧЕСКОЙ ТОЛЩИНЫ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХ ПРОЗРАЧНЫХ ОБЪЕКТОВ |  |
Номер публикации патента: 2152588 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01B011/06 G01B009/02 | | Аналоги изобретения: | SU 1474456 A1, 23.04.1989. SU 1693371 A1, 23.11.1991. EP 0227253 A1, 01.07.1987. US 5610716 A, 11.03.1997. |
| Имя заявителя: | НИИ Российский центр лазерной физики при Санкт-Петербургском Государственном университете | | Изобретатели: | Лебедев М.К.
Толмачев Ю.А.
Смирнов В.Б. | | Патентообладатели: | НИИ Российский центр лазерной физики при Санкт-Петербургском Государственном университете |
Реферат | |
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев. Измерение оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов осуществляют путем направления пучков, отраженных от поверхностей объекта, на двухлучевой интерферометр, бипризму или бизеркало Френеля, создают два пространственно-когерентных пучка, распространяющихся в одном общем направлении под малым углом друг к другу, размещают в области наложения пучков позиционно-чувствительный многоэлементный фотоприемник. Способ позволяет упростить интерференционную картину за счет создания трех нелокализованных нулевых интерференционных полос, в результате чего достигается увеличение производительности метода измерений. 3 з.п.ф-лы, 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента