|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ |  |
Номер публикации патента: 94036133 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94036133 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В.Лукина | | Изобретатели: | Никитин А.В.
Потрываева О.Б |
Реферат | |
Предлагается способ измерения малых линейных размеров в оптическом измерительно микроскопе, включающий позиционирование объекта измерений на столике микроскопа, фокусировку его изображения, считывание значений интенсивности в различных точках изображения (основного распределения интенсивности). Отличие указанного способа от известного аналогичного способа состоит в том, что значения основной интенсивности в точках ее измерения преобразуют в значения основных амплитуд поля световой волны в тех же точках, затем для каждой точки полученного основного распределения поля рассчитывают значения дополнительных амплитуд поля, отвечающих участкам волнового фронта за пределами числовой апертуры объектива для различных предполагаемых значений размера. Далее проводят суммирование основных и дополнительных значений поля в каждой точке для различных значений предполагаемого размера, а из полученных суммарных распределений поля отбирают то, которое по его форме наиболее точно соответствует форме функции пропускания (отражения) объекта. В результате размером измеряемого объекта считают то значение предполагаемого размера, которое использовалось для расчетов дополнительных амплитуд поля при вычислениях отобранного распределения.
|
Поиск патентов