|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ УСТУПОВ С КРУТЫМИ СТЕНКАМИ |  |
Номер публикации патента: 94036799 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94036799 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Институт физики им.Л.В.Киренского СО РАН | | Изобретатели: | Шестаков Н.П. |
Реферат | |
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для интерференционных измерений уступов с крутыми стенками, например на "свидетелях", используемых при измерении толщины напыления, или определении глубины травления полированных поверхностей в электронике и машиностроении. Способ заключается в том, что измеряют дробную часть сдвига интерференционных полос на уступе, стенки уступа смачивают жидкостью и на образованном плавном переходе поверхности от вершины к подножью измеряют целую часть сдвига интерференционных полос. Способ позволяет расширить диапазон измерений.
|
Поиск патентов