АКЦИПЕТРОВ О.А. Старая история в новом свете: вторая гармоника исследует поверхность, Природа, 2005, 7, с.9-17. RU 221696 С2, 27.11.2003. RU 99112623 А, 27.04.2001. SU 1775601 A1, 15.11.1992. SU 1608427 А1, 23.11.1990. SU 1401266 А1, 07.06.1988.
Имя заявителя:
Базыленко Валерий Андреевич (RU), Бацев Сергей Владимирович (RU), Давлетшин Ильдар Загитович (RU), Тимошенко Виктор Юрьевич (RU), Уласевич Михаил Степанович (RU)
Изобретатели:
Базыленко Валерий Андреевич (RU) Бацев Сергей Владимирович (RU) Давлетшин Ильдар Загитович (RU) Тимошенко Виктор Юрьевич (RU) Уласевич Михаил Степанович (RU)
Патентообладатели:
Базыленко Валерий Андреевич (RU) Бацев Сергей Владимирович (RU) Давлетшин Ильдар Загитович (RU) Тимошенко Виктор Юрьевич (RU) Уласевич Михаил Степанович (RU)
Реферат
Способ основан на использовании когерентного электромагнитного излучения. Создают оптическую нелинейность поверхности с микрорельефом и эталонного образца. Измерение высоты микрорельефа обеспечивается путем анализа интерференции полученных в результате взаимодействия с нелинейно-оптической поверхностью отраженной от поверхности с микрорельефом гигантской второй гармоники и гигантской второй гармоники, отраженной от поверхности эталонного образца. Однозначность измерения высоты микрорельефа обеспечивают путем анализа интерференции ответвленной части излучения и излучения, отраженного от поверхности с микрорельефом. Оптическая нелинейность поверхностей с микрорельефом и эталонного образца может создаваться методом химического травления поверхностей или их покрытия частицами наноразмерного уровня из металла или полупроводника. Технический результат - повышение точности и однозначности измерений высоты микрорельефа с резким перепадом высот. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента