WO 2010083899 A1, 29.07.2010. WO 2009120859 A, 01.10.2009. RU 2222648 C2, 27.01.2004. RU 2278076 C2, 20.06.2006.
Имя заявителя:
Открытое акционерное общество "Красноярский машиностроительный завод" (RU)
Изобретатели:
Сарапулов Кирилл Борисович (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Красноярский машиностроительный завод" (RU)
Реферат
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для выращивания стержней поликристаллического кремния, а именно для выращивания поликристаллического кремния преимущественно путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые стержневые подложки. Реактор содержит охлаждаемый поддон 1, цилиндрический колпак 2, закрепленный на поддоне, состоящий из внутренней и наружной рубашек 3, 4, с образованием между ними канала 5 охлаждения, в котором размещено средство увеличения скорости циркуляции охлаждающей среды в виде змеевика 6. Змеевик 6 снабжен средством 7 подвода рабочего газа и средством 8 его отвода. Обеспечивается использование тепла, направляемого на поддержание процесса восстановления кремния и снижение удельных затрат на проведение процесса. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.