Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


РЕАКТОР ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ (CVD - РЕАКТОР) С ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ КАМЕРОЙ, НАГРЕВАЕМОЙ С ПОМОЩЬЮ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ (RF - ИЗЛУЧЕНИЯ)

Номер публикации патента: 2389834

Вид документа: C2 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2007128348/15 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: C30B025/10   C23C016/46    
Аналоги изобретения: WO 0043577 A1, 27.07.2000. DE 10055182 A1, 29.05.2002. WO 2004053187 A1, 24.06.2004. SU 843028 A1, 30.06.1981. 

Имя заявителя: АЙКСТРОН АГ (DE) 
Изобретатели: КЕППЕЛЕР Йоханнес (DE)
ВИШМЕЙЕР Франк (DE) 
Патентообладатели: АЙКСТРОН АГ (DE) 
Приоритетные данные: 24.12.2004 DE 102004062553.0 

Реферат


Изобретение относится к аппаратурному оформлению процесса осаждения из газовой фазы кристаллических слоев на кристаллическую подложку. Устройство для осаждения, в частности, кристаллических слоев на, по меньшей мере, одну, в частности, кристаллическую подложку с образованной несколькими стеновыми частями 1, 2, 3, 4 технологической камерой 5, стеновые части 1, 2, 3, 4 которой электропроводны и стыкуются друг с другом с образованием контактов 2', 2'', 3', 3'' касания, с заключающим в себе стеновые части 1, 2, 3, 4 технологической камеры, состоящим из неэлектропроводного материала корпусом 6 реактора и с окружающей стеновые части 1, 2, 3, 4 технологической камеры нагревательной катушкой 7 высокой частоты, содержит расположенную между корпусом 6 реактора и стенками 1, 2, 3, 4 технологической камеры, выполненную в виде одной детали, массивную экранирующую нагревательную трубку 8, материал которой является электропроводным в такой степени, что она нагревается от вихревых токов, индуцированных созданным посредством катушки 7 высокой частоты высокочастотным полем, в значительном объеме подавляет высокочастотное поле и окружает технологическую камеру 5 таким образом, что стеновые части 1, 2, 3, 4 технологической камеры нагреваются с помощью теплового излучения. Изобретение позволяет предотвратить локальное нагревание в области зон касания отдельных стеновых частей технологической камеры, что обеспечивает внутри нее равномерный температурный профиль. 13 з.п. ф-лы, 5 ил.

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"