Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента


МНОГОКАМЕРНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ С ПОМОЩЬЮ ЛАЗЕРОГРАФИИ

Номер публикации патента: 94013202

Вид документа: A1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 94013202 
 

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: C23C014/28    

Имя заявителя: Гарицын А.Г.[RU] 
Изобретатели: Гарицын А.Г.[RU]
Дерновский В.И.[RU]
Юдицкий В.А.[B 

Реферат


Сущность изобретения: комплекс содержит три технологические камеры для изготовления интегральных схем с помощью лазерографии, содержит три технологические камеры для обработки полупроводниковых пластин с герметизирующимися затворами для загрузки пластин и столиками для их крепления в процессе обработки, а также подключенные к камерам газораспределительные и вакуумные системы, транспортную систему, расположенную в микроклиматической камере с системой обеспылевания, изолирующей транспортируемые пластины от загрязненной внешней среды, включающую робототизированные манипуляторы с системой датчиков для ориентации полупроводниковых пластин в необходимом положении, систему загрузки с устанавливаемым на нее герметизированным контейнером для транспортировки пластин, механическим интерфейсом.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"