US 5556519 A, 17.09.1996. RU 2211881 С2, 10.09.2003. RU 2210620 C1, 20.08.2003. RU 2210619 C2, 20.08.2003. RU 2102527 C1, 20.01.1998. SU 1697453 A1, 20.11.1995. US 4448802 A, 15.05.1984. JP 1-246355 A, 02.10.1989. JP 63-72878 A, 02.04.1988.
Имя заявителя:
Спиваков Дмитрий Давидович (RU), Митин Валерий Семенович (RU)
Изобретатели:
Спиваков Дмитрий Давидович (RU) Митин Валерий Семенович (RU)
Патентообладатели:
Спиваков Дмитрий Давидович (RU) Митин Валерий Семенович (RU)
Реферат
Изобретение относится к способу и устройству ионно-плазменного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий. Система для создания магнитного поля магнетронного устройства включает два установленных напротив друг друга несбалансированных магнетрона, на внутренней поверхности которых закреплены выполненные из гомогенного материала мишени и каждый из которых имеет ориентированные в противоположных направлениях внутренний и внешний кольцевые магнитные полюса. Внешний полюс одного магнетрона и внешний полюс другого магнетрона имеют противоположную полярность. Система имеет также два установленных напротив друг друга высокоскоростных, охлаждаемых, сбалансированных магнетрона, на внутренней поверхности которых закреплены мозаичные мишени и каждый из которых имеет ориентированные в противоположных направлениях внутренний и внешний кольцевые магнитные полюса. В промежутках между двумя парами несбалансированных и сбалансированных магнетронов, которые находятся между их внешними кольцевыми магнитными полюсами одной полярности, размещены установленные напротив друг друга два ионных источника с холодным катодом, выполненные в виде ориентированных в противоположных направлениях внутреннего и внешнего кольцевых магнитных полюсов. Внешний полюс каждого ионного источника имеет полярность, противоположную полярности внешних полюсов ближайших к нему несбалансированного и сбалансированного магнетронов. В двух других промежутках между двумя парами несбалансированных и сбалансированных магнетронов, которые находятся между их внешними кольцевыми магнитными полюсами разных полярностей, размещены установленные напротив друг друга два дуговых источника металлических ионов со стабилизирующими катушками. Способ включает следующие операции: установку изделий в планетарном карусельном механизме, ионное травление и активацию изделий с помощью несбалансированных магнетронов, дополнительную активацию изделий с помощью ионного источника, генерирующего ионы газов, нагрев изделий, нанесение первичного покрытия с помощью несбалансированных магнетронов, нанесение вторичных слоев покрытия до толщины 10 мкм с помощью одновременного использования несбалансированных магнетронов и сбалансированных магнетронов, нанесение основного слоя покрытия с помощью одновременного использования несбалансированных и сбалансированных магнетронов, нанесение основного слоя с многослойной нанокристаллической структурой с помощью одновременного использования несбалансированных магнетронов и сбалансированных магнетронов и дуговых источников. В результате достигается повышение производительности и универсальности процесса. 2 н. и 3 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента