EP 0580019 A1, 26.01.1994. US 2003180984 A, 25.09.2003. JP 2003095795 A, 03.04.2003. US 6509070 B1, 21.01.2003. JP 2001035805 A, 09.02.2001. SU 645578 A3, 23.01.1992. SU 1394736 A, 23.01.1992.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский инженерно-физический институт (государственный университет)" (RU)
Изобретатели:
Неволин Владимир Николаевич (RU) Фоминский Вячеслав Юрьевич (RU) Романов Роман Иванович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский инженерно-физический институт (государственный университет)" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области технологии нанесения защитных антифрикционных покрытий, в частности к способу получения антифрикционных тонких пленок и может быть использовано в вакуумной, авиационной и космической технике, микромеханике, изготовлении металлорежущего и металлообрабатывающего инструмента. Осуществляют импульсное лазерное распыление мишени, выполненной из дихалькогенидов тугоплавких металлов, при плотности энергии лазерного излучения от 5 до 100 Дж/см2, при комнатной температуре подложки и давлении инертного газа 1-10 Па. Дихалькогениды тугоплавких металлов выбраны из группы, включающей MoS2, WS2, MoSe2 WSe2, MoSe2/Ni, WSe2/Ni. Подложка расположена напротив мишени на расстоянии 3-8 см. Подложка может быть выполнена из любых металлических материалов и твердых сплавов, использующихся в машиностроении. Подложка может быть выполнена из стали с покрытием из алмазоподобного углерода (-С). Технический результат заключается в упрощении технологии и снижении загрязнения окружающей среды и вредности производства. 4 з.п. ф-лы, 5 ил., 2 табл.