Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК КАРБИДА КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ВАКУУМНОЙ ЛАЗЕРНОЙ АБЛЯЦИИ

Номер публикации патента: 2350686

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2007112699/02 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: C23C014/28   C23C014/10    
Аналоги изобретения: JP 2003-095795 A, 03.04.2003. SU 1808023 A3, 07.04.1993. RU 2110604 C1, 10.05.1998. JP 2003-347212 A, 05.12.2003. JP 11-256322 A, 21.09.1999. JP 10-209048 A, 07.08.1998. 

Имя заявителя: Общество с ограниченной ответственностью "УФ-техника" (RU) 
Изобретатели: Гусев Александр Сергеевич (RU)
Михнев Леонид Васильевич (RU)
Рындя Сергей Михайлович (RU)
Бондаренко Евгений Алексеевич (RU) 
Патентообладатели: Общество с ограниченной ответственностью "УФ-техника" (RU) 

Реферат


Изобретение относится к способу получения тонких пленок карбида кремния методом вакуумной лазерной абляции и может быть использовано для получения тонкопленочных покрытий и активных слоев тонкопленочных приемников УФ-излучения в микроэлектронике. Способ включает распыление керамической мишени лазерным лучом в условиях высокого вакуума без добавок газообразных реагентов на нагретую подложку.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"