|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК КАРБИДА КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ВАКУУМНОЙ ЛАЗЕРНОЙ АБЛЯЦИИ |  |
Номер публикации патента: 2350686 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/28 C23C014/10 | | Аналоги изобретения: | JP 2003-095795 A, 03.04.2003. SU 1808023 A3, 07.04.1993. RU 2110604 C1, 10.05.1998. JP 2003-347212 A, 05.12.2003. JP 11-256322 A, 21.09.1999. JP 10-209048 A, 07.08.1998. |
| Имя заявителя: | Общество с ограниченной ответственностью "УФ-техника" (RU) | | Изобретатели: | Гусев Александр Сергеевич (RU)
Михнев Леонид Васильевич (RU)
Рындя Сергей Михайлович (RU)
Бондаренко Евгений Алексеевич (RU) | | Патентообладатели: | Общество с ограниченной ответственностью "УФ-техника" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к способу получения тонких пленок карбида кремния методом вакуумной лазерной абляции и может быть использовано для получения тонкопленочных покрытий и активных слоев тонкопленочных приемников УФ-излучения в микроэлектронике. Способ включает распыление керамической мишени лазерным лучом в условиях высокого вакуума без добавок газообразных реагентов на нагретую подложку.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента