|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2265077 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/34 | | Аналоги изобретения: | RU 2176681 С1, 10.12.2001. |
| Имя заявителя: | ООО "АЛЬБАТЭК" (RU) | | Изобретатели: | Волков В.В. (RU) | | Патентообладатели: | ООО "АЛЬБАТЭК" (RU) |
Реферат | |
Изобретения относятся к вакуумной технологии нанесения покрытий однослойных однокомпонентных, однослойных многокомпонентных и многослойных многокомпонентных и устройству для ее реализации и могут найти применение при изготовлении тонких и сверхтонких пленок из металлов, полуметаллов, сплавов, диэлектриков, полупроводников и сверхпроводников в микроэлектронике.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента