|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИОННО - ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ, МОЗАИЧНАЯ МИШЕНЬ ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИШЕНИ |  |
Номер публикации патента: 2210620 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 H01J023/05 | | Аналоги изобретения: | SU 1816288, 15.05.1993. US 4966676, 30.10.1990. RU 2168233 C2, 27.05.2001. RU 2054832 C1, 20.02.1996. |
| Имя заявителя: | Ширяев Сергей Аркадьевич | | Изобретатели: | Гусева М.И.
Атаманов М.В.
Мартыненко Ю.В.
Московкин Ю.В.
Митин В.С.
Митин А.В.
Ширяев С.А. | | Патентообладатели: | Ширяев Сергей Аркадьевич |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано в электронной, атомной, оптической и других областях науки и техники. Задача изобретения состоит в формировании многокомпонентных пленок заданного состава в установившемся режиме при высокой скорости распыления. Способ включает создание в магнетронном устройстве ортогональных магнитного и электрического полей, распыление мозаичной мишени, содержащей вставки из разнородных металлов, и нанесение распыленных материалов на подложки, закрепленные на аноде, при этом
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента