|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ ИЗ СПЛАВА НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2184164 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C22C001/04 C23C014/34 | | Аналоги изобретения: | US 5833772, 10.11.1988. RU 2017846 С1, 15.08.1994. US 4402905, 12.03.1983. |
| Имя заявителя: | Институт химии и технологии редких элементов и минерального сырья им. И.В. Тананаева Кольского научного центра РАН | | Изобретатели: | Кузьмич Ю.В.
Фрейдин Б.М.
Серба В.И.
Колесникова И.Г.
Ворончук С.И.
Тарасов А.А. | | Патентообладатели: | Институт химии и технологии редких элементов и минерального сырья им. И.В. Тананаева Кольского научного центра РАН
ООО "РАМЕТ-М" |
Реферат | |
Изобретение относится к области изготовления изделий из сплава на основе кремния, преимущественно распыляемых мишеней, которые могут быть использованы при нанесении тонких покрытий для электронной, оптической, компьютерной техники. Сущность изобретения заключается в том, что сплавление кремния с легирующим компонентом осуществляют при 1860-1980oС с получением первичного сплава. Переплав этого сплава с получением вторичного сплава ведут при температуре, на 500-600oС превышающей температуру ликвидуса вторичного сплава. Формирование изделия из вторичного сплава производят литьем. Охлаждение изделия от температуры разливки до температуры солидуса вторичного сплава ведут со скоростью 150-300oС/мин. В качестве легирующего компонента используют один или более элементов, взятых из группы: алюминий, никель, медь, бор, железо, редкоземельные металлы, вольфрам, молибден, титан, ниобий, тантал и хром, которые вводят в количестве 1-50%. Предлагаемый способ позволяет получать из сплавов на основе кремния распыляемые мишени различной формы, размеров и состава, имеющие пористость 0,5-5,0% и кристаллическую структуру с ориентацией зерен перпендикулярно рабочей поверхности мишени при низком уровне внутренних напряжений. 3 з.п. ф-лы.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента