|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ВАКУУМНО - ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ |  |
Номер публикации патента: 2145362 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/34 | | Аналоги изобретения: | RU 2075538 C1, 20.03.1997. RU 2101383 C1, 10.01.1988. EP 0275021 A2, 20.07.1988. DE 3802998 A1, 10.08.1989. DE 3844064 A1, 05.07.1990. EP 0282836 A2, 21.09.1989. |
| Имя заявителя: | Уфимский государственный авиационный технический университет | | Изобретатели: | Будилов В.В.
Шехтман С.Р.
Киреев Р.М. | | Патентообладатели: | Уфимский государственный авиационный технический университет |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано в электронной, оптической и других областях промышленности. Способ включает осаждение покрытия в инертном газе с помощью системы, состоящей из обрабатываемой детали и экрана в виде сетки, при этом осаждение ведут в сочетании с ионной бомбардировкой подложки при давлении инертного газа 10-2-10-1 Па. Изобретение позволяет получать покрытия с нанокристаллической структурой. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента