На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОКИСНЫХ ПЛЕНОК | |
Номер публикации патента: 2110604 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | C23C014/28 | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1492762, C 23 C 14/28, 1987 г. |
Имя заявителя: | Гомельский государственный университет им.Франциска Скорины (BY) | Изобретатели: | Федосенко Николай Николаевич[BY] Тишков Николай Иванович[BY] Пенязь Владимир Александрович[BY] Шолох Владимир Федорович[BY] Якушева Татьяна Львовна[BY] | Патентообладатели: | Гомельский государственный университет им.Франциска Скорины (BY) |
Реферат | |
Использование: технология нанесения электропроводящих покрытий на изделия оптического приборостроения вакуумным испарением материала. Сущность изобретения: способ включает испарение окисла металла лазерным испарением, осаждение продуктов испарения на подложку и термообработку осажденного слоя в атмосфере кислорода с парциальным давлением 1 · 103 - 5 · 105 мм рт. ст. при ее ионизации тлеющим разрядом. Облучение проводят импульсным лазерным излучением с плотностью мощности 5 · 105 - 1 · 106 Вт/см2, длительностью импульсов 700 мкс - 1 мс в течение 110 - 130 с. 1 ил., 1 табл.
|