На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ЗАЩИТНО - ДЕКОРАТИВНЫХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ ИОННО - ПЛАЗМЕННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ

Номер публикации патента: 2065890

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  93038774		Получить полное описание патента

Реферат

Существо изобретения заключается в том, что устройство для получения защитно-декоративных покрытий в вакууме методом ионно-плазменного напыления содержит вакуумную камеру, внутри которой расположены мишень источника напыляемого материала, анод, термоэмиссионный катод, держатель покрываемых изделий, экран-заслонку, а также источник рабочего газа и, по крайней мере, в частном случае один источник реакционных газов. Мишень выполнена в виде двух кругообразных элементов, электрически соединенных и установленных параллельно. Анод выполнен в виде одного или двух электрически соединенных колец, соосных цилиндрическому каркасу, причем анод соединен с первым источником регулируемого постоянного напряжения, мишень источника напыляемого материала соединена со вторым источником регулируемого напряжения, катод соединен с источником регулируемого напряжения, а источники рабочего и реакционного газов соединены с внутренней полостью вакуумной камеры. Устройство отличается оригинальной конструкцией источника напыляемого материала и анода и предусматривает наличие между термоэмиссионным катодом и держателем экрана-заслонки, что устраняет в неравномерность концентрации ионов в области между катодом и анодом и исключает нежелательные неоднородности в оттенке покрытия. 6 з.п.ф., 1 ил.

Вернуться к списку