RU 2394001 C1, 10.07.2010. SU 1625834 A1, 07.02.1991. RU 2279400 C1, 10.07.2006. WO 2002083583 A1, 24.10.2002. EP 737873 B1, 26.06.2002.
Имя заявителя:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики" (НИУ ИТМО) (RU)
Изобретатели:
Сидоров Александр Иванович (RU) Никоноров Николай Валентинович (RU) Игнатьев Александр Иванович (RU) Подсвиров Олег Алексеевич (RU) Жигалов Андрей Александрович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики" (НИУ ИТМО) (RU)
Реферат
Изобретение относится к технологии оптических материалов и может быть использовано в интегральной оптике для изготовления волноводов и волноводных структур, а также для изготовления волноводных датчиков и сенсоров. Изобретение решает задачу повышения точности и технологичности изготовления погруженных в тонких приповерхностных слоях стекол оптических волноводов заданной геометрии с высоким эффективным показателем преломления и малыми оптическими потерями, варьирования глубины залегания волновода и его толщины. Способ заключается в том, что поверхность стекла, содержащего ионы щелочного металла, например Na, K, Li, в области формирования волновода облучают электронами с энергией 5-20 кэВ и дозой облучения 0,5-10 мК/см2 при плотности электронного тока 0,5-10 мкА/см 2. Для повышения эффективного показателя преломления волновода и увеличения его толщины после облучения электронами стекло подвергают термообработке при температуре 350-400°C в течение 1-2 ч. 1 н. и 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента