Изобретение касается способа и устройства для получения обедненных бором хлорсиланов из борсодержащей смеси хлорсиланов. Обогащенный бором поток дистиллята отделяют дистилляцией. Причем в системе с одной или несколькими дистилляционными колоннами по меньшей мере из одной колонны отводят обогащенный бором боковой поток и утилизируют или направляют для иного применения. Обеспечивается получение фракций хлорсилана высокой очистки и снижение потерь хлорсиланов, обусловленных отделением обогащенных бором силановых фракций. 4 н. и 12 з.п. ф-лы, 5 ил., 4 табл., 5 пр.