Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (ФГУП ГНИИХТЭОС) (RU), ООО "Русский кремний" (RU)
Изобретатели:
Соколов Николай Михайлович (RU) Стороженко Павел Аркадьевич (RU) Супоненко Александр Николаевич (RU) Поливанов Александр Николаевич (RU) Чиннов Владимир Всеволодович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (ФГУП ГНИИХТЭОС) (RU) ООО "Русский кремний" (RU)
Реферат
Изобретение может быть использовано в производстве полупроводникового кремния. Трихлорсилан, полученный гидрохлорированием технического кремния, очищают от высококипящих соединений, включая метилдихлорсилан, ректификацией в одной колонне при соотношении концентраций трихлорсилана и метилдихлорсилана в кубовой жидкости, равном 23-30. Изобретение позволяет получать трихлорсилан с содержанием метилдихлорсилана не более 8,4·10-6 масс.% и выходом до 98%. 1 табл.