PERRET A. et al. Silicon as material for mechanical wristwatches. Proceedings of the SPIE. The International Society for Optical Engineering SPIE-INT. SOC. OPT. ENG USA, vol. 4755, 2002, pages 645-647. US 2007/0103177 A1, 10.05.2007. US 6506620 B1, 14.01.2003. US 6187607 B1, 13.02.2001. WO 01/72631 A1, 04.10.2001. EP 1640333 A1, 29.03.2006. EP 1722281 A1, 15.11.2006. RU 2137249 C1, 10.09.1999.
Изобретение относится к способу изготовления составного микромеханического компонента, сочетающему процессы глубокого реактивного ионного травления и литографии, гальванопластики и формования. Сущность изобретения: способ изготовления составного микромеханического компонента из кремния и металла включает следующие этапы: подготовку подложки, включающей верхний и нижний слои кремния, между которыми проходит промежуточный слой оксида кремния, избирательное травление по меньшей мере одной полости в верхнем слое для ограничения рисунка кремниевой части этого компонента, продолжение травления этой по меньшей мере одной полости в промежуточном слое, при этом в способе дополнительно выращивают металлический слой по меньшей мере от одного участка указанной по меньшей мере одной полости с целью создания металлической части в толще компонента для изоляции кремниевой части микромеханического компонента от разрушающих механических напряжений и отделяют составной микромеханический компонент от подложки. Изобретение обеспечивает получение составных микромеханических компонентов, приспособленных для изготовления часов. 3 н. и 29 з.п. ф-лы, 12 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента