SU 746219 A1, 05.07.1980. RU 2028588 C1, 09.02.1995. RU 2028584 C1, 09.02.1995. RU 2092801 C1, 10.10.1997. EP 0348658 A, 03.01.1990.
Имя заявителя:
Васильев Валерий Анатольевич (RU), Громков Николай Валентинович (RU)
Изобретатели:
Васильев Валерий Анатольевич (RU) Громков Николай Валентинович (RU)
Патентообладатели:
Васильев Валерий Анатольевич (RU) Громков Николай Валентинович (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления в условиях воздействия температур измеряемой среды как в системах автоматического контроля, так и в цифровых приборах специального и универсального назначения. Техническим результатом изобретения является повышение точности устройства за счет введения дополнительных резисторов и уменьшения благодаря этому влияния температуры разогрева тензорезисторов на выходной сигнал и измерение давления как в положительную, так и в отрицательную сторону (разрежение) за счет введения второго резистора интегратора. Устройство для измерения давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы (НиМЭМС) с частотным выходным сигналом содержит тензорезисторный датчик, установленную в нем НиМЭМС с упругим элементом в виде мембраны, сформированной на ней гетерогенной структурой из тонких пленок материалов, в которой образованы тензорезисторы, объединенные в тензомост. Частотный преобразователь сигнала с выхода тензомоста содержит компаратор и интегратор, выполненный на операционном усилителе с первым конденсатором в цепи отрицательной обратной связи, выход которого подключен к первому входу компаратора, между выходом которого и инвертирующим входом операционного усилителя интегратора включен второй конденсатор. Инвертирующий вход операционного усилителя интегратора через первый резистор интегратора соединен с одной из вершин измерительной диагонали тензомоста, а ее другая вершина подключена к неинвертирующему входу операционного усилителя интегратора и второму входу компаратора. Введены два дополнительных резистора и второй резистор интегратора. Первый дополнительный резистор включен между первой вершиной диагонали питания тензомоста и выходом компаратора, второй дополнительный резистор подключен ко второй вершине диагонали питания тензомоста и соединен с шиной «земля». Второй резистор интегратора подключен между инвертирующим входом операционного усилителя интегратора и шиной «земля». 1 з.п. ф-лы, 14 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента