RU 2283691 C1, 20.09.2006. RU 2099813 C1, 20.12.1997. JP 11267478 A, 05.10.1999. US 6790785 В1, 14.09.2004. WO 9905344 A1, 04.02.1999. US 6284670 B1, 04.09.2001.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный политехнический университет" (ГОУ "СПбГПУ") (RU)
Изобретатели:
Улин Владимир Петрович (RU) Солдатенков Федор Юрьевич (RU) Бобыль Александр Васильевич (RU) Конников Самуил Гиршевич (RU) Терещенко Геннадий Федорович (RU) Федоров Михаил Петрович (RU) Чусов Александр Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный политехнический университет" (ГОУ "СПбГПУ") (RU)
Реферат
Изобретение относится к области изготовления селективных мембран для молекулярной фильтрации газовых смесей и может найти применение в портативных топливных элементах. Способ изготовления газопроницаемой мембраны включает фрагментарное нанесение на обе поверхности монокристаллической кремниевой пластины металлических покрытий, химически инертных в растворах фтористоводородной кислоты с окислителем. Пластину отжигают в условиях, обеспечивающих формирование омического контакта между нанесенным металлом и кремнием, а затем проводят процесс порообразования в кремнии путем обработки пластины в растворе, содержащем фтористоводородную кислоту, окислитель, вещество, способствующее восстановлению окислителя на поверхности металла, и поверхностно-активное вещество. Обработку пластины ведут с обеих сторон до момента встречи фронтов порообразования, распространяющихся вглубь пластины от непокрытых металлом участков поверхности, с получением разделительного наноразмерного слоя монокристаллического кремния. Изобретение позволяет получить газопроницаемые мембраны с высокой эффективной проницаемостью и прочностью при повышении выхода годных мембран, а также упростить процес их изготовления. 11 з.п. ф-лы, 5 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента