V.MILANOVIC et al. Laterally Actuated Torsional Micromirrors for Large Static Deflection, IEEE Photonic technologies letters, v.15, No 2, February 2003, p.245-247. RU 2351897 C1, 10.04.2009. RU 2293338 C1, 10.02.2007. RU 2334237 C1, 20.09.2008. US 2004/0226376 A1, 18.11.2004. GB 2320571 A, 24.06.1998. US 2002/0083777 A1, 04.07.2002.
Имя заявителя:
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" (RU)
Изобретатели:
Коноплев Борис Георгиевич (RU) Лысенко Игорь Евгеньевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области измерительной техники и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин угловой скорости и ускорения. В устройство, содержащее полупроводниковую подложку с двумя опорами, инерционную массу, два торсиона, две упругие балки и подвижный электрод, введены восемь дополнительных опор, внутренняя рамка, выполненная из полупроводникового материала и расположенная с зазором относительно подложки, два дополнительных торсиона, расположенных с зазором относительно полупроводниковой подложки, три дополнительных подвижных электрода, двенадцать дополнительных упругих балок, расположенных с зазором относительно полупроводниковой подложки, четыре неподвижных электрода с гребенчатыми структурами с одной стороны, выполненные из полупроводникового материала и расположенные непосредственно на подложке, причем подвижные электроды выполнены с гребенчатыми структурами с одной стороны и образуют конденсаторы с неподвижными электродами с гребенчатыми структурами с одной стороны в плоскости их пластин через боковые зазоры и взаимопроникающие друг в друга гребенками электродов. Изобретение обеспечивает возможность измерения величин угловой скорости вдоль оси Z, направленной перпендикулярно плоскости подложки, и ускорения вдоль осей X, Y, расположенных в плоскости подложки гироскопа-акселерометра. 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента