RU 2298191 C1, 27.04.2007. RU 2299822 C1, 20.12.2006. RU 2291449 C2, 10.01.2007. US 5377545 A, 03.01.1995. US 5911157 A, 08.01.1999. US 5361635 A, 08.11.1994.
Имя заявителя:
Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский федеральный университет" (СФУ) (RU)
Изобретатели:
Маринушкин Павел Сергеевич (RU) Левицкий Алексей Александрович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский федеральный университет" (СФУ) (RU)
Реферат
Изобретение относится к области микросистемной техники, в частности к микромеханическим акселерометрам. Акселерометр содержит крестообразный подвес, центральная часть которого закреплена относительно якорной области, и опорную рамку, соединенную с крестообразным подвесом и закрепленную относительно инерционной массы. Вспомогательные подвижные электроды закреплены по углам опорной рамки, подложка и инерционная масса выполнены из диэлектрического материала, подвижные и неподвижные электроды и вспомогательные неподвижные электроды выполнены из металла, а якорная область, крестообразный подвес, опорная рамка и вспомогательные подвижные электроды выполнены из полупроводникового материала единым элементом. Изобретение позволяет расширить диапазон измеряемых ускорений, повысить точность измерения ускорения и улучшить эксплуатационные характеристики конструкции. 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента