|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИНТЕГРАЛЬНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП - АКСЕЛЕРОМЕТР НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК |  |
Номер публикации патента: 2334237 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01P015/08 G01C019/56 | | Аналоги изобретения: | LEMKIN М.А. et al. A 3-axis Force Balanced Accelerometer Using a Single Proof-Mass. International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (Transdusers'97), Chicago, June 16-19, 1997, p.1186. РАСПОПОВ В.Я. Микромеханические приборы. Учебное пособие. Тул. Гос. Университет, 2002, с.32. RU 2266521 С1, 07.06.2004. WO 2005/095997 A1, 13/10/2005. US 6327907 B1, 11.12.2001. |
| Имя заявителя: | Технологический институт Федерального государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" в г. Таганроге (ТТИ ЮФУ) (RU) | | Изобретатели: | Коноплев Борис Георгиевич (RU)
Лысенко Игорь Евгеньевич (RU)
Полищук Елена Викторовна (RU) | | Патентообладатели: | Технологический институт Федерального государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" в г. Таганроге (ТТИ ЮФУ) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин угловой скорости и ускорения. Устройство содержит полупроводниковую подложку с пятью неподвижными электродами, четыре подвижных электрода, выполненных в виде пластин с гребенчатыми структурами, образующих конденсаторы с неподвижными электродами и связанных с подложкой с помощью упругих балок, выполненных на основе углеродных нанотрубок, инерционную массу, распол
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента