JP 04-218912 А, 10.08.1992. RU 2233899 С2, 10.08.2004. US 20060042728 A1, 02.03.2006. RU 2086699 C1, 10.08.1997. SU 1785808 A1, 07.01.1993. JP 2000-297365 A, 24.10.2000. JP 60-116763 A, 24.06.1985.
Имя заявителя:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Изобретатели:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU) Штинов Евгений Дмитриевич (RU)
Патентообладатели:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Реферат
Изобретение относится к области металлургии цветных металлов, а именно к производству распыляемых металлических мишеней из молибдена, и может быть использовано в микроэлектронике для нанесения покрытий тонкопленочной металлизацией. Способ включает последовательное глубокое вакуумное рафинирование электронно-лучевым переплавом металлокерамической заготовки высокой чистоты с получением монокристаллического или поликристаллического молибдена. После чего из полученного продукта электронно-лучевым переплавом в горизонтальном или вертикальном кристаллизаторе формируют заготовку мишени в виде монокристаллического или поликристаллического слитка. Затем проводят механическую обработку полученной заготовки. Технический результат - повышение качества и надежности барьерных и проводящих пленок при распылении литых мишеней из молибдена высокой чистоты. 3 н.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента