|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОЧИСТКИ ВНУТРЕННИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ УСТАНОВОК ВОДОРОДНОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ ОТ ПОЛИСИЛАНХЛОРИДОВ |  |
Номер публикации патента: 2341454 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C01B033/00 | | Аналоги изобретения: | RU 2136590 С1, 10.09.1999. SU 1742583 А1, 23.06.1992. RU 2280010 С1, 20.07.2006. JP 1257119 А, 13.10.1989. JP 4124011 А, 24.04.1992. ФАЛЬКЕВИЧ Э.С. и др. Технология полупроводникового кремния. - М.: Металлургия, 1992, с.239-241. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "ГОРНО-ХИМИЧЕСКИЙ КОМБИНАТ" (RU) | | Изобретатели: | Громов Геннадий Николаевич (RU)
Муравицкий Степан Александрович (RU)
Гаврилов Петр Михайлович (RU)
Ревенко Юрий Александрович (RU)
Левинский Александр Иванович (RU)
Гущин Владимир Васильевич (RU)
Петрусевич Федр Викторович (RU) | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "ГОРНО-ХИМИЧЕСКИЙ КОМБИНАТ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к химической промышленности и может применяться для очистки от полисиланхлоридов установок водородного восстановления поликристаллического кремния. После процесса водородного восстановления кремния стержни с осажденным на них поликристаллическим кремнием охлаждают до температуры 600÷230°С.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента