|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАТРИЦ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ НА ПОДЛОЖКАХ CD*00X HG*001*00 - *00X TE |  |
Номер публикации патента: 95105130 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 95105130 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Институт физики полупроводников СО РАН | | Изобретатели: | Ромашко Л.Н.
Мясников А.М.
Ободников В.И.
Овсюк В.Н.
Васильев В.В.
Земцова |
Реферат | |
Способ изготовления матриц полупроводниковых приборов на подложках CdxHg1-xTe. Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов и может найти применение для создания матриц, например, n-р переходов или других полупроводниковых приборов. Способ изготовления матриц полупроводниковых приборов на подложках CdxHg1-xTe включает в себя химическую полировку в бромном травителе, промывку поверхности в органических растворителях, нанесение диэлектриков и напыление металла, причем после травления и промывки поверхности в органических растворителях поверхность подложек обрабатывают во фторсодержащем водном растворе с концентрацией фтора 3 - 20% с последующей промывкой в воде. Предлагаемый способ позволяет достаточно простым, дешевым способом, не требующим дополнительных трудоемких и дорогостоящих операций и оборудования, изготовлять матрицы стабильных, однородных приборов с достаточно высокими параметрами.
|
Поиск патентов