|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОНСТРУКТИВНЫХ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ КРЕМНИЕВЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ |  |
Номер публикации патента: 2321920 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/8232 | | Аналоги изобретения: | RU 2056673 C1, 20.03.1996. SU 1609399 A1, 07.03.1993. JP 58055328 А, 01.04.1983. US 6211077 B1, 03.04.2001. US 5700699 А, 23.12.1997. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "НПО "ОРИОН" (ФГУП "НПО "ОРИОН") (RU) | | Изобретатели: | Борисов Валерий Константинович (RU)
Климанов Евгений Алексеевич (RU)
Лисейкин Виктор Петрович (RU) | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "НПО "ОРИОН" (ФГУП "НПО "ОРИОН") (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике, используется для изготовления поликристаллических кремниевых затворов полевых транзисторов и межсоединений компонентов в больших интегральных схемах, а также в качестве эмиттеров биполярных транзисторов, резисторов и в качестве материала фотоприемников. Слой кремния наносят посредством магнетронного распыления кремниевой мишени в вакууме.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента